据外媒报道，日本极紫外光刻胶开发商InpriaCorp.日前对泛林（LamResearch）提起专利侵权诉讼。
Inpria方面在向特拉华州地方法院提起的诉状中，指控泛林侵犯了其EUV光刻胶技术专利，要求法院对泛林下达某类干式光刻胶的禁售令，并寻求损害赔偿。
Inpria首席执行官AndrewGrenville在一份声明中表示：“Inpria在新材料和技术的开发方面进行了大量投资，我们相信我们的专利权将在这种情况下得到维护。”
Inpria方面没有透露所寻求的损害赔偿金额，该公司成立于2007年，多年来得到来自芯片行业的多家战略投资者支持，目前是日本半导体材料企业JSRCorp的全资子公司。 |
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