3月26日，北京市科学技术奖励工作办公室公示了2019年度北京市科学技术奖各评审委员会项目评审结果，电科装备牵头实施的“大束流离子注入机装备及工艺研发”项目，以同类奖项排名第一的成绩，荣获北京市科学技术进步一等奖。这是自1月份电科装备参与研制的新一代核心射频芯片项目获得“国家科技进步一等奖”以来，在科技创新领域获得的又一含金量十足的奖项，标志着电科装备在集成电路核心装备自主可控方面取得重大突破。

　　　　
　　离子注入机是集成电路制造至关重要的核心装备。
　　
　　作为电子制造高端装备领域的“国家队”，电科装备始终致力于为国家解决高端装备关键技术自主可控难题，坚持将离子注入机作为产业发展的主攻方向之一。经过数十年的攻关，在国家科技02重大专项等项目的支持下，电科装备不断突破离子注入机关键核心技术，累计取得发明专利101项，国际专利2项，实现了国产离子注入装备从消化吸收到自主创新再至产业化的跨越式发展。
　　
　　构建科技创新体系，打造产业发展的最强“心脏”。电科装备始终将构建符合离子注入机发展规律的科技创新体系，作为产业发展的核心。不断拓展型号族谱，实现了离子注入机全谱系产品并用于知名芯片制造企业90nm、55nm、40nm、28nm工艺生产线；通过持续投入，建立了符合SEMI标准的离子注入机批量制造平台，具备年产30台的产业化能力；设立了博士后科研工作站，源源不断输出技术人才。

　　　　
　　搭建符合集成电路高端装备发展的商业运作模式，打通产业发展的“脉络”。集成电路装备的发展需要上下游纵向整合，集合优势资源共同推进，电科装备坚持走联合创新之路，联合清华大学、中芯国际、上海微系统所等单位齐心推动离子注入机国产化进程。此次荣获北京市科学技术进步一等奖的大束流离子注入机就是集中力量办大事的生动实践；通过推动离子注入机业务公司化运作，引入战略投资，实施科技成果转化，人、财、物等各类资源不断集中，形成了由公司、投资方、骨干员工构成的利益共同体和命运共同体，发展红利快速释放，在与世界一流设备厂商同台竞技中，凭借深厚的研发与服务保障能力多次斩获订单，市场份额快速提升，真正迈出了产业化、国产替代的坚实步伐。
　　
　　发展国产装备，铸就国芯基石。下一步，电科装备将紧握“新基建”带来的新机遇，高举我国集成电路高端装备自主可控的旗帜，不断攻克离子注入机关键核心技术，持续推进离子注入机产业化，为我国集成电路产业自主可控发展保驾护航。
　　
　　(文/孙友芳)
　　
　　【新闻深一度】
　　
　　北京市科学技术奖由市政府设立，旨在奖励在北京市科学技术进步活动中做出突出贡献的个人和组织，调动科技人员的积极性和创造性，加速北京市科技进步，促进首都的经济建设和社会发展。近年来，北京市科学技术奖励紧紧围绕国家重大战略需求和首都城市发展战略定位确立奖励重点，一批立足自主创新、服务经济社会发展的优秀科技成果，摘得了北京市科学技术奖。这些科研成果的取得，为构建“高精尖”的经济结构，发挥科技对首都经济社会发展的支撑引领作用，加快全国科技创新中心建设发挥了重要作用。