俄罗斯和乌克兰是氖、氩、氪、氙等半导体原料气体供应大国,其中氖气由乌克兰供应全球近七成产量,而俄罗斯惰性气体供应量占全球供应总量的30%。 随着俄乌冲突爆发后,全球氖气、氙气等产量大减,全球芯片市场的供应短缺问题加剧。为降低对进口产品的依赖,韩国存储器大厂三星和SK海力士都表示将大幅增加韩国本土生产的气体。 据韩国经济新闻报道,近日,三星表示,公司将与浦项钢铁(POSCO)一起推进半导体核心材料氙气的本土生产,目前该材料全部依赖进口。 目前,大多数韩国芯片制造商和微电子设备制造商依赖进口气体,这些气体是生产3DV-NAND等高端半导体所必须的稀有气体之一。而空气中氙气的含量极低,主要由拥有大型空气分离装置的钢铁厂生产。 根据报道,三星电子与浦项钢铁于10月27日签署了“半导体用氙气业务合作"谅解备忘录”,三星电子将从2024年开始接受浦项钢铁的氙气供应。而浦项钢铁将在2024年前在其韩国光阳市(Gwangyang)的钢铁厂建设氙气生产设施,以帮助韩国芯片制造商应对全球供应链不稳定导致的气体价格上涨问题。 值得一提的是,在三星电子之前,韩国另一大存储器大厂SK海力士此前也宣布提高本土氖气的采购量,以降低对进口的依赖程度。 据悉,SK海力士今年(2022)与浦项钢铁、韩国特殊气体生产商TEMC携手合作,成功开发出氖的生产技术。 今年10月初,SK海力士表示已经成功将本地供应商的氖气用于其40%的芯片生产。该公司的目标是到2024年为止,将氖国产化比重提高到100%。同时,SK海力士还计划到明年6月为止,将蚀刻工艺中使用的氪(Kr)和氙(Xe)气体国产化。
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