外媒：存储巨头已取消增加光刻胶供应商的计划[CSIA]
 
 
外媒：存储巨头已取消增加光刻胶供应商的计划
更新时间：2022/9/28 15:01:57  
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据外媒报道，三星已取消增加光刻胶供应商的计划。
　　
　　报道引述消息人士称，该公司曾与至少四家潜在的日本供应商接触，其中包括世界上最大的光刻胶制造商东京应化工业，但这些公司都无法满足三星的厚度要求。到目前为止，三星电子的3DNAND光刻胶仍由东进半导体独家供应。
　　
　　据了解，在2013年量产第一代3DNAND闪存之前，三星电子与东进半导体深度合作，并公开所有工艺步骤来鼓励开发。之后东进半导体成功开发出比现有KrF光刻胶厚30%的材料。
 
来源:全球半导体观察        
 
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