默克宣布将与美光合作开发半导体产业气体解决方案[CSIA]
默克宣布将与美光合作开发半导体产业气体解决方案
更新时间:
2022/8/10 11:07:39
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默克公司宣布与美光科技合作开发用于半导体工艺、能降低全球变暖趋势的气体解决方案。默克表示,经过一年的持续合作,美光科技目前正在测试默克研发部门提供的低GWP替代性蚀刻气体,以验证其制程性能,从而取代传统的高GWP材料,目标在半导体制程中导入全新且更具可持续性的气体解决方案。
来源:创板日报
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