6月16日，韩媒报道，韩国半导体设备厂APSHoldings正在打造一条超高分辨率精细金属掩模板(FMM)研究生产线，产品将应用于AR、VR设备用MicroOLED显示器。
资料显示，精细金属掩模板是OLED蒸镀工艺中的消耗性核心零部件,其主要作用是在OLED生产过程中沉积RGB有机物质并形成像素。
目前，其子公司APSMaterials正在韩国天安市建设产线。消息人士称，APSHoldings目标是制造一种精细金属掩模板，能够帮助实现3000PPI（每英寸像素）分辨率的OLED显示器生产。
据了解，3000PPI到4000PPI的像素密度足以满足AR/VR设备用1英寸MicroOLED显示器的制造需求。
据悉，该研究产线还将支持MicroOLED材料的沉积和封装流程。在此之前，APSMaterials通过第三方企业对支持1000PPI像素密度显示的精细金属掩模板进行沉积和封装。而在3000PPI级别的精细金属掩模板生产上，沉积和封装制程都将由APSMaterials自行完成。
为生产支持更高分辨率MicroOLED精细金属掩模板，APSMaterials可能需要采用新的激光设备。APSMaterials此前曾表示，公司计划使用激光技术代替目前传统的湿法刻蚀工艺来进行精细金属掩模板生产，以实现更高的分辨率。
值得注意的是，目前，APSHoldings正在与苹果合作开发MicroOLED精细金属掩模板。去年9月，韩媒报道，苹果公司曾向APSHoldings要求提供用于VR显示的精细金属掩模板样品，要求分辨率为3000PPI。 |
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